Electrochemical Nano-Materials and System Lab.

04. Publication

  
S²PEIN 공유대학 운영을 위한 교수진, …
S²PEIN 공유대학

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초박형 실리콘/금속 이종 접합 기판 제조 방법,  , 등록번호:10-1696431 , 등록일자:2017.01.09 , 출원번호:10-2015-0172232 , 출원일자:2015.12.04
습식 전해 증착을 이용한 관통 실리콘 비아 전극(TSV)의 형성 공정 중 비아 내 물질량 조절 방법, 유봉영 , 출원번호: 10-2015-0056939 , 출원일자: 2015.04.23
니켈, 니켈-텅스텐을 이용한 그라비아롤 코팅막 형성, 유봉영,박수빈 , 등록번호: 10-1756887-00-00 , 등록일자:2017.07.05 , 출원번호:10-2015-0084874 , 출원일자:2015.06.16
레이저와 스트레스막을 이용한 초박형 실리콘 기판 제조 방법, 유봉영,양창열,전재호 , 출원번호: 10-2015-0135477 , 출원일자:2015.09.24
초박형 실리콘/금속 이종 접합 기판 제조 방법, 유봉영,양창열,전재호 , 출원번호: 10-2015-0135486 , 출원일자:2015.09.24
습식 증착법( Electroless / Electrodeposition )을 이용한 실리콘(c-Si) 표면 박리 방법, 유봉영,양창열,유성국 , 출원번호:PCT/KR2015/006180 , 출원일자: 2015.06.18