출원특허 출원 2023.06.27 2023
전기도금 방식을 통한 bottom-focused Ru nano trench filling 공정 및 grain refinement를 통한 충진
발명자 · 유봉영,김유정
관리자 · 조회 509 · 2024-03-28
Research
Electrochemical Nano-Materials and System Lab