Electrochemical Nano-Materials and System Lab
진공·가열·기압 조건에서 시편의 열처리 및 접합을 수행하는 장치
박막의 면저항 및 전기전도 특성 측정 장치
초음파를 이용한 시편 및 실험기구 세척 장치
물질 표면의 전기화학적 특성 분석
원심분리
물질의 intrinsic properties 분석
박막 두께 측정
용액 내 미세입자 여과
미세 질량 측정
wafer 간 접합
Gold wave generating
확산과 대류에 의한 물질 전달 분석
도금용액의 주기적 공급
Pulse 형태의 전류 출력
할셀 공기조절 / 온도조절
