목록 출원특허 출원 2023.07.20 2023 유리관통전극 선택적 충진 방법 발명자 · 유봉영 관리자 · 조회 446 · 2024-03-28 목록 다음글 전기도금 방식을 통한 bottom-focused Ru nano trench filling 공정 및 grain refinement를 통한 충진