출원특허 대한민국 출원 2020.04.22 2020
금속 배선 형성을 위한 전해증착과 전해폴리싱 연속 공정 장비 및 방법
발명자 · 유봉영,이진현
관리자 · 조회 375 · 2022-03-03
Research
Electrochemical Nano-Materials and System Lab