출원특허 대한민국 출원 2017.04.26 2017
실리콘 관통 전극 형성을 위한 표면처리 방법
발명자 · 유봉영,진상현,이진현
관리자 · 조회 397 · 2018-01-02
Electrochemical Nano-Materials and System Lab