출원특허 대한민국 출원 2016.09.26 2016
레이저와 스트레스막을 이용한 초박형 실리콘 기판 제조 방법
발명자 · 양창열,전재호,유봉영
관리자 · 조회 333 · 2017-12-20
Electrochemical Nano-Materials and System Lab