등록특허 대한민국 등록 2019.12.30 2018
실리콘 관통 전극 형성을 위한 표면처리 방법
발명자 · 이진현,유봉영,진상현
관리자 · 조회 304 · 2022-03-03
Research
Electrochemical Nano-Materials and System Lab