한양대나노 > Patents > 전기도금 방식을 통한 bottom-focused Ru nano trench filling 공정 및 grain refinement를 통한 충진

04. Publication

· 특허 정보


ㆍ발명인	· 김유정,유봉영

ㆍ발명 명칭	· 전기도금 방식을 통한 bottom-focused Ru nano trench filling 공정 및 grain refinement를 통한 충진

ㆍ등록번호	·

ㆍ등록일자	·

ㆍ등록처(국가)	·

ㆍ출원일자	· 2023.08.03

ㆍ출원번호	· 10-2023-0101484

ㆍ상태	· 출원

ㆍ설명	·