한양대나노 > Patents > 열응력 완화형 관통전극 형성방법 및 열응력 완화형 관통전극

04. Publication

· 특허 정보


ㆍ발명인	· 유봉영

ㆍ발명 명칭	· 열응력 완화형 관통전극 형성방법 및 열응력 완화형 관통전극

ㆍ등록번호	· 10-1204275-00-00

ㆍ등록일자	· 2012. 11. 19

ㆍ등록처(국가)	· 대한민국

ㆍ출원일자	·

ㆍ출원번호	·

ㆍ상태	· 등록

ㆍ설명	·