한양대나노 > Patents > 레이저와 스트레스막을 이용한 초박형 실리콘 기판 제조 방법

04. Publication

· 특허 정보


ㆍ발명인	· 양창열,전재호,유봉영

ㆍ발명 명칭	· 레이저와 스트레스막을 이용한 초박형 실리콘 기판 제조 방법

ㆍ등록번호	·

ㆍ등록일자	·

ㆍ등록처(국가)	· 대한민국

ㆍ출원일자	· 2016.09.26

ㆍ출원번호	· 10-2016-0122988

ㆍ상태	· 출원

ㆍ설명	·